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真空鐘擺閥是一種通過圓形閥板做 “鐘擺式擺動" 實現(xiàn)真空隔離/流量控制的閥門，一般作為大口徑節(jié)流閥安裝在真空腔體和渦輪分子泵入口之間，通常應(yīng)用于FPD、SEMI、Solar和PV行業(yè)的真空鍍膜系統(tǒng)。
鐘擺閥安裝位置-真空泵與工藝腔之間
目前的鐘擺閥設(shè)計均采用鍍鎳或硬質(zhì)陽極氧化工藝來防腐蝕和減少灰塵，考慮到擺閥尺寸巨大，閥體大多采用鋁制金屬以減少重量和制造成本，可在氣動或APC模式下運行，其中APC鐘擺閥可以實現(xiàn)真空隔離的同時，也能實現(xiàn)中下游端的精準壓力控制。
氣動鐘擺閥 APC壓力控制鐘擺閥
-日揚APC鐘擺閥-
• 設(shè)計緊湊，振動小，啟閉運動平穩(wěn)
• 抗腐蝕，低粉塵，精準的壓力控制
• 可定制尺寸，最大可達ISO500
• 模塊化設(shè)計，易于拆卸方便維護
• 控制精度可達最大量程的0.1%
APC控制擺閥可以在真空系統(tǒng)中實現(xiàn)高效、穩(wěn)定的壓力控制，憑借其低污染、快響應(yīng)、易維護等特點，已成為高精密真空系統(tǒng)的標準配置。日揚已為不同行業(yè)客戶定制研發(fā)多款APC鐘擺閥，適配越來越復雜的真空工藝需求，成功實現(xiàn)國產(chǎn)代替。
—APC鐘擺閥展出現(xiàn)場—
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